等離子體去膠機(jī)型號(hào)：ME1
ME1型等離子體去膠機(jī)，是在（RIE）反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的基礎(chǔ)上簡(jiǎn)化改進(jìn)而來(lái)，為小型等離子去膠機(jī)，具有體積小，性能優(yōu)良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復(fù)性好、價(jià)格低、使用方便等特點(diǎn)。是各電子器件企業(yè)及科研單位、大專院校的機(jī)型。適合于微電子制作工藝中光刻膠的去膠工藝，同時(shí)有RIE刻蝕功能，可以刻蝕Si、SiO2、SiN。已出口國(guó)外。
　　整機(jī)基本配置和性能：
　　　　1．激勵(lì)電源：13.56MHz 500W；帶匹配器和功率計(jì)各1臺(tái)（自動(dòng)匹配可選），帶定時(shí)器1臺(tái)。 
　　　　2．真空系統(tǒng)：8升/秒機(jī)械泵1臺(tái)。帶真空計(jì)。 
　　　　3．載片臺(tái)尺寸：Ф220mm ，一次可放3片4英寸片或者4片3英寸片。
　　　　4．氣路系統(tǒng)：2路進(jìn)氣；2個(gè)質(zhì)量流量計(jì)，2路顯示。 
　　　　5．手動(dòng)控制（可以選擇配置工藝過(guò)程自動(dòng)控制）。
　　　　6．均勻性：±5% （4英寸內(nèi)）