射頻磁控濺射鍍膜裝置 

主要用途：本設備主要用于大專院校研究和開發納米級單層膜；如各種硬質膜、金屬膜；也可以是非金屬、化合物等薄膜材料。可以進行直接濺射，亦可以實現反應濺射。

射頻磁控濺射鍍膜裝置 

主要特點：結構簡捷、操作簡便，真空度維護高，安全可靠。

鍍膜機應安裝在干凈無塵埃、無腐蝕性氣體的室內，并具備清潔水源、及220V的穩定電壓等條件的地方。

1、地面的基本水平度要經過調整，不得高低不平；

2、環境溫度：10℃～30℃；

3、相對濕度：不大于75%；

4、耗水量（進水溫度≤25℃，2.5Kg≥水壓≥1.5Kg）：約0.2T/h；

5、水質要求：

矽酸硬度<6度，PH值：7－8，電導率：200us/cm,沉積率：<200mg/L。

6、電壓： 220V，50H_Z，

電壓波動范圍： 198～231V；

頻率波動范圍：49～51Hz;

7、水壓：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、充入氣體純度99.9%或以上;

9、鍍膜用耗材純度99.9%或以上。

設備規格參數

1.1、濺射處理室：

       1、鐘罩：內徑225mm×高度260mm；

       2、試樣臺：直徑80mm（）；

       3、試樣旋轉：靜止；

       4、擋板：手動；

       5、襯底加熱器：不銹鋼加熱器（DC24V）；

       6、襯底溫度范圍：室溫～200℃；

       7、襯底可調距離：20mm～60mm；

       8、濺射室限真空：0.5Pa

1.2、真空系統：

       1、抽氣系統：由機械泵組成的一級真空系統；抽氣速率：4升/S

       2、真空檢測：電阻真空計、電阻規；

       3、常用真空度：1～20Pa

       4、操作：手動

1.3、濺射電源：

1、射頻電源：頻率13.560MHZ,功率：500W，用表指示；

2、阻抗匹配器范圍：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω； 

3、供電：AC 220V；

4、冷卻方式：風冷；

  1.4、 磁控靶：

1、靶材直徑：Ф50mm、 一個永磁靶；

2、靶材厚度：3～6mm；

1.5、進氣系統：2路轉子流量計進氣，

1.6、電源要求：AC 220V  50Hz  10A

1.7、氣體要求：氬氣--純度99.9%（樣品有特殊要求時使用高純）

1.8、冷卻要求：靶體水冷，濺射電源風冷

1.9、體積重量：體積：L550mm×W680mm×H1480mm；約120kg

產品名稱：粗糙度儀 便攜式表面粗糙度儀  產品型號： RL100

粗糙度儀/便攜式表面粗糙度儀 型號：RL100

RL100是我公司推出的新一代粗糙度儀，也叫袖珍便攜式表面粗糙度儀。它具有測量精度高、測量范圍寬、操作簡便、便于攜帶、工作穩定等特點，可以廣泛應用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測，該粗糙度儀是傳感器主機一體化的袖珍式粗糙度儀，具有手持式特點，更適宜在生產現場使用。外形采用拉鋁模具設計，堅固耐用，抗電磁干擾能力顯著，符合當今設計新趨勢。 
優點: 
用優化的電路設計及傳感器結構設計,將電箱、驅動器及顯示部分合為一體，使其達到高度集成化；任意選擇Ra、Rz、Rq、Rt測量參數；不僅可以測量外圓、平面、錐面，還可測長寬大于80×30mm的溝槽。 

功能特點： 
采用高速DSP處理器進行數據處理和計算，測量和運算速度大提高。顯示液晶采用流行的OLED顯示屏，高亮度，無視角，寬溫度，適合各種場合使用。 
采用鋰離子充電電池，可長時間工作，無記憶效應，可邊充電邊工作，充電時間短，電池壽命長。 
使用通用的USB接口進行充電和通訊。采用的充電器或計算機的USB口進行充電，方便快捷。 
點陣液晶顯示，界面提示信息豐富。 
實時監測鋰電電池電量并顯示，及時提醒用戶進行充電并具有充電進度提示。 
自動關機功能以及低功耗軟硬件設計使儀器工作時間長，適合各種現場使用。 
傳感器測頭具有保護門，有效的保護了傳感器測頭，保證了測量的精度。 
  
工作原理： 
  當傳感器在驅動機構的驅動下沿被測表面作勻速直線運動時，其內部垂直于工作表面的觸針隨工作表面的微觀不平輪廓產生垂直方向的位移，再通過傳感器將位移變化量轉換成電量的變化，將該電信號進行放大，濾波，經A/D轉換為數字信號，再經DSP處理，計算出Ra、Rz值并顯示。 
技術參數： 
測量參數（μm ）：Ra、Rz、Rq、Rt 
行程長度（mm）：6 
取樣長度（mm）：0.25 ，0.80 ，2.50 
評定長度（mm）：1.25 ，4.0 ， 
測量范圍（μm ）：  
                Ra：    0.05 ~ 10.0 
                Rz：     0.1 ~ 50 
示值誤差：±15% 
示值變動性： ＜12% 
傳感器觸針針尖圓弧半徑及角度： 
                針尖圓弧半徑：10 μm±1 μm  
傳感器觸針靜測力及其變化率： 
                觸針靜測力：    ≤ 0.016N 
                測力變化率：    ≤ 800N/m 
傳感器導頭壓力： ≤ 0.5N 
電池：3.7V鋰離子電池 
外形尺寸：106 mm×70 mm×24 mm 
重量：200g 
工作環境條件: 
                溫    度：  -20℃～40℃ 
                相對濕度：   <  90% 
                周圍無振動、無腐蝕性介質 
  
日常維護與保養： 
避免碰撞、劇烈震動、重塵、潮濕、油污、強磁場等情況； 
每次測量完畢，要及時關掉電源，以保持電池能量，并應及時對電池進行充電； 
傳感器是儀器的精密部件，切記精心維護。每次使用完畢，要將儀器的保護蓋輕輕蓋好。避免對傳感器造成劇烈的振動；隨機標準樣板應精心保護，以免劃傷后造成校準儀器失準